详情介绍
- 名称 X射线光电子能谱仪
- 资产编号 自2021年1月1日启用新系统预约https://openlab.sustech.edu.cn。
- 型号 PHI 5000 Versaprobe Ⅲ
- 规格
- 产地 日本
- 厂家 ULVAC-PHI
- 所属品牌 ULVAC-PHI
- 出产日期
- 购买日期
- 所属单位 南方科技大学环境科学与工程学院
- 使用性质 科研
- 所属分类
- 联系人 --
- 联系电话
- 联系邮箱
- 放置地点 南方科技大学慧园二栋309A
主要规格及技术指标
1、X射线源:单色化Al Kα射线源,X射线束斑直径10μm至400μm连续可调,可实现样品表面聚焦及扫描(10μm~1400μ×1400μm)。
2、Ar离子枪:溅射区域从最小束斑到10x10mm连续可调,离子能量为0-5keV连续可调。
3、GCIB离子枪:离子溅射的电压、束流、束斑等多参数可调。
4、紫外光源UPS:He I 灵敏度 Ag 4d @ 3 Mcps,能量分辨率优于110 meV。
5、双束中和系统:独立调节电子束和离子束,高质量获谱(PET中O=C-O中C1s FWHM ≤ 0.85eV)。
6、全自动五轴样品台:可实现X、Y、Z 方向的移动,常中心旋转0~360°,倾斜0°~90°,角度分辨≤±1º;冷热样品台可实现-140℃~800℃原位测试。
2、Ar离子枪:溅射区域从最小束斑到10x10mm连续可调,离子能量为0-5keV连续可调。
3、GCIB离子枪:离子溅射的电压、束流、束斑等多参数可调。
4、紫外光源UPS:He I 灵敏度 Ag 4d @ 3 Mcps,能量分辨率优于110 meV。
5、双束中和系统:独立调节电子束和离子束,高质量获谱(PET中O=C-O中C1s FWHM ≤ 0.85eV)。
6、全自动五轴样品台:可实现X、Y、Z 方向的移动,常中心旋转0~360°,倾斜0°~90°,角度分辨≤±1º;冷热样品台可实现-140℃~800℃原位测试。
主要功能及特色
1、样品表面的元素成分(Li-U)分析、元素化学状态(价态,化学键合等)信息、定量分析、深度剖析、角分辨XPS、高低温原位测试。
2、Ar离子枪可实现样品中和、清洁和深度剖析功能。
3、GCIB离子枪适用于有机材料的表面清洁和多层膜层结构深度剖析,溅射时对材料化学态破坏小。
4、紫外光源UPS主要应用价带谱,费米能级,功函数测试。
5、彩色CCD摄像机成像和X射线二次电子成像(SXI)可用于样品观察及分析选点定位,可实现样品表面点分析、线扫描、面分析。
6、配备真空转移装置,可保护样品表面在分析前不受环境,空气和氧气的影响。
2、Ar离子枪可实现样品中和、清洁和深度剖析功能。
3、GCIB离子枪适用于有机材料的表面清洁和多层膜层结构深度剖析,溅射时对材料化学态破坏小。
4、紫外光源UPS主要应用价带谱,费米能级,功函数测试。
5、彩色CCD摄像机成像和X射线二次电子成像(SXI)可用于样品观察及分析选点定位,可实现样品表面点分析、线扫描、面分析。
6、配备真空转移装置,可保护样品表面在分析前不受环境,空气和氧气的影响。
样本检测注意事项
1、不能被测试的样品种类:放射性的样品,具有磁性的样品,真空中会释放大量气体(尤其释放的气体对不锈钢具有腐蚀性)的样品,在X光照射下会分解的样品。
2、可测试样品的要求:导体、半导体和绝缘体均可以。粉末样品越细越好,用量约5mg,也可自行压片;片状、块体样品厚度应小于7mm,长宽尺度均在10mm以内,特殊样品最大斜边在50mm以内,保护好待测面。
3、UPS测试样品电阻应小于100Ω,最好小于10Ω,可测片状或块状,粉末样品应压片,长宽控制在7-10mm,高度不超过7mm。
4、原位高低温测试样品为片状或块状,粉末样品应压片,长宽控制在7-10mm,高度不超过2mm,加热分解或释放大量气体的样品不能进行高温测试。
5、如为挥发性高分子样品或具挥发性覆膜,务必先自行在真空高温炉中抽除挥发性分子,送样前需对样品进行一段时间的干燥处理。
6、易受空气、氧气影响的样品,建议使用真空转移装置,需提前与工程师预约联系。
7、XPS为预约排样测试,送样时请写明送样人、样品编号和测试需求等信息,收到样品后会在5个工作日(特殊情况除外)给出数据结果。
若需现场测试或其他特殊要求,请提前3个工作日与工程师进行沟通确认,感谢您的配合。
2、可测试样品的要求:导体、半导体和绝缘体均可以。粉末样品越细越好,用量约5mg,也可自行压片;片状、块体样品厚度应小于7mm,长宽尺度均在10mm以内,特殊样品最大斜边在50mm以内,保护好待测面。
3、UPS测试样品电阻应小于100Ω,最好小于10Ω,可测片状或块状,粉末样品应压片,长宽控制在7-10mm,高度不超过7mm。
4、原位高低温测试样品为片状或块状,粉末样品应压片,长宽控制在7-10mm,高度不超过2mm,加热分解或释放大量气体的样品不能进行高温测试。
5、如为挥发性高分子样品或具挥发性覆膜,务必先自行在真空高温炉中抽除挥发性分子,送样前需对样品进行一段时间的干燥处理。
6、易受空气、氧气影响的样品,建议使用真空转移装置,需提前与工程师预约联系。
7、XPS为预约排样测试,送样时请写明送样人、样品编号和测试需求等信息,收到样品后会在5个工作日(特殊情况除外)给出数据结果。
若需现场测试或其他特殊要求,请提前3个工作日与工程师进行沟通确认,感谢您的配合。
设备使用相关说明
XPS为预约排样测试,送样的同时请提交有导师签字的《南方科技大学环境学院公共科研平台测试委托单》,若需现场测试或其他特殊要求,请提前3个工作日与工程师进行沟通确认,感谢您的配合。
备注
自2021年1月1日启用新系统预约https://openlab.sustech.edu.cn。